La Planitud de la Superficie de Sellado es lo que Mantiene su Vacío sin Fugas Estas Piezas de Cámara de Semiconductores Mecanizadas por CNC son las paredes de carga y los anillos de distribución de ga
Estas Piezas de Cámara de Semiconductores Mecanizadas por CNC son las paredes de carga y los anillos de distribución de gas para herramientas de grabado, deposición e implantación iónica. Mecanizamos las caras de sellado críticas con una planitud de 0.005 mm y mantenemos un acabado superficial de Ra 0.4 µm en las ranuras de los anillos tóricos. Esto significa que su cámara mantiene un vacío de 10⁻⁶ Torr sin puntos de pinzamiento de elastómero. BQUQ ha realizado 20 años de producción CNC en Dongguan, por lo que obtiene esta precisión con un plazo de entrega de 10 días, no las 6 semanas típicas de los talleres estadounidenses o alemanes.
Para componentes expuestos al plasma, recomendamos aluminio 6061-T6. Su conductividad térmica (167 W/m·K) extrae el calor de la zona de reacción 10 veces más rápido que el acero inoxidable 316L. Aliviamos tensiones en cada placa antes del mecanizado para eliminar tensiones internas. Después del mecanizado, aplicamos anodizado duro equivalente a 60 HRC en la superficie; esto evita la formación de arcos y el desprendimiento de partículas. Para estaciones finales de implantación iónica, utilizamos 304L o 316L con electropulido de 32 Ra para reducir la desgasificación por debajo de 1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm².
Las piezas de su cámara a menudo necesitan puertos de entrada de gas en ángulos de 15°, 30° o 45°. Operamos fresadoras de 5 ejes DMG MORI que mecanizan estos orificios angulados en una sola configuración. Esto elimina el error acumulativo del reajuste de fijación. La precisión posicional típica en el espaciado entre puertos es de ±0.01 mm. También mecanizamos roscas internas con ajuste clase 2A, crítico para los orificios de cartuchos calefactores y pozos de termopar que deben sellar bajo ciclos térmicos.
Cada lote de materia prima viene con un certificado de molino EN 10204 3.1. Verificamos la composición química y la dureza antes de cortar. Para piezas de aluminio, utilizamos temple T6 (190 HB). Para acero inoxidable, usamos condición de recocido de solución y, si lo requiere, realizamos un horneado final al vacío a 400°C para eliminar la fragilización por hidrógeno. Registramos la lectura de dureza en la hoja de inspección de cada pieza: usted obtiene el número real, no un valor "típico".
Inspeccionamos el 100% de las características críticas, no solo una muestra. Una CMM Zeiss verifica todos los orificios, patrones de pernos y superficies de sellado contra su modelo 3D. Para piezas que deben mantener vacío, realizamos una prueba de fuga de helio hasta 1×10⁻⁹ mbar·L/s. También fotografiamos la pieza junto a una escala calibrada para sus registros. Usted recibe un informe de inspección completo con cada envío, sin cargo adicional.
El acabado estándar es Ra 0.8 µm en áreas no sellantes y Ra 0.4 µm en caras de sellado. Para químicos corrosivos como Cl₂ o HBr, aplicamos anodizado duro de 25 µm (Tipo III) que resiste el ataque. Para piezas de acero inoxidable, ofrecemos electropulido que elimina la capa endurecida por trabajo y deja una superficie pasiva de óxido de cromo. No utilizamos chorro abrasivo, ya que incrusta partículas de medio que causan defectos en las obleas.
Empacamos las piezas en bolsas dobles de plástico antiestático (ESD) y las colocamos en cajas de madera con espuma. La caja exterior está marcada con "Frágil—Grado Vacío" e incluye una bolsa desecante. Gestionamos toda la documentación de exportación, incluido el Certificado de Fumigación y la Factura Comercial. El envío puerta a puerta vía DHL o FedEx tarda de 3 a 5 días a EE. UU., la UE o Japón. Para reparaciones urgentes, podemos enviar por vía aérea una sola pieza dentro de 48 horas.
| Especificación | Valor / Rango |
|---|---|
| Materiales | Aluminio 6061-T6, 7075-T6, Acero Inoxidable 304L/316L, Titanio Grado 5 |
| Tamaño Máximo de Pieza | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| Rango de Espesor | 2 mm a 200 mm |
| Dureza (Aluminio) | T6: 95 HB; Anodizado Duro: 60 HRC equiv. |
| Dureza (Acero Inoxidable) | Recocido de Solución: 200 HB máx. |
| Tolerancia de Mecanizado | ±0.005 mm (lineal), ±0.01 mm (posicional) |
| Acabado Superficial Ra | 0.4 µm (sellado), 0.8 µm (estándar), 0.2 µm (óptico) |
| Excentricidad (concéntrica) | ≤0.005 mm entre orificios |
| Plazo de Entrega | 10 días estándar, 5 días acelerado |
| MOQ | Sin MOQ — 1 pieza o 1000 piezas |
| Inspección | 100% CMM, prueba de fuga de helio opcional |
Necesitamos su archivo 3D STEP o IGES. El plano 2D omite las indicaciones de perfil superficial en puertos curvos complejos. Envíenos el modelo sólido y verificaremos el espesor de pared, el acceso de la herramienta y el radio interno. Si encontramos un problema de fabricación, se lo diremos dentro de 4 horas, no después de que haya pagado por el utillaje.
Almacenamos sus programas CNC, fijaciones y rutinas de inspección en nuestro servidor durante 10 años. Cuando vuelva a pedir, extraemos el programa, volvemos a ejecutar la primera pieza y enviamos en 7 días. No paga una nueva tarifa de configuración por pedidos repetidos. Para contratos anuales, podemos mantener stock de seguridad de su materia prima crítica; solo díganos su pronóstico.
Cero cantidad mínima de pedido. Mecanizamos un prototipo o 1000 piezas de producción al mismo precio unitario.
Sí, obtenemos materiales de molinos certificados en China, Taiwán y Japón; envíenos su especificación ASTM o DIN y confirmaremos la disponibilidad en 24 horas.
Usamos la misma inspección CMM y certificados de material para una sola pieza que para un lote de 1000, sin atajos.
Podemos mecanizar una placa de aluminio simple en 48 horas y enviarla por vía aérea; las cámaras complejas con múltiples puertos tardan de 5 a 7 días.
¿Listo para fabricar sus piezas de cámara con precisión real? Envíe su modelo 3D y cantidad a sc@bquq.com. Le devolveremos una cotización firme dentro de 12 horas, incluido el costo del material, el tiempo de mecanizado y las opciones de envío. Para preguntas urgentes, escríbanos por WhatsApp al +86 13713157787. Sin MOQ, sin tarifas de diseño, sin cargos ocultos de utillaje: solo Piezas de Cámara de Semiconductores Mecanizadas por CNC que cumplen con su guía de tolerancias de mecanizado CNC y duran miles de ciclos de proceso. Nuestra fabricación de precisión en China está respaldada por 20 años de experiencia en exportación. También le ayudamos a elegir las herramientas adecuadas para su aleación específica; consulte nuestra guía de selección de herramientas de corte CNC para más detalles. Envíe su dibujo hoy.
| Parámetro | Capacidad |
|---|---|
| Materiales | AL6061/7075, SUS303/304/316, acero 45#, cobre T2, latón H59, POM, PEEK, nylon |
| Tolerancia | ±0.005mm estándar, ±0.003mm bajo solicitud |
| Máquinas | CNC de 3/4/5 ejes, torneado-fresado, torno suizo |
| Superficie | Anodizado, niquelado, zincado, pasivado, chorro de arena, pulido |
| Rango de Tamaño | Máx. 400 x 300 x 200 mm |
| Prototipo | 72 horas, sin MOQ en muestras |
| Inspección | Informe completo por lote, datos CMM bajo solicitud |
