Estas Piezas de Cámara de Semiconductores Mecanizadas por CNC son los recintos sellados al vacío y resistentes al plasma que albergan los procesos de procesamiento de obleas. Mantenemos el espesor de
Estas Piezas de Cámara de Semiconductores Mecanizadas por CNC son los recintos sellados al vacío y resistentes al plasma que albergan los procesos de procesamiento de obleas. Mantenemos el espesor de pared a ±0.005 mm, logramos una concentricidad de 0.005 mm en todas las superficies de acoplamiento y enviamos las primeras piezas en 5 días, no en 15. Cada pieza se fresca a partir de aluminio certificado o palanquilla de acero inoxidable en máquinas de 3 y 5 ejes, y luego se anodiza duramente hasta una dureza superficial equivalente de 60 HRC para resistencia a la erosión en entornos agresivos de grabado y deposición.
La ranura de sellado es el corazón de cualquier cámara: una fuga aquí destruye el proceso. Cortamos esas ranuras con herramientas de punta única dedicadas, no con fresas de extremo de uso general. Nuestros programas CNC utilizan fresado en concordancia a 12,000 RPM con un paso de 0.02 mm, produciendo una superficie que comprime las juntas tóricas de manera uniforme. Verificamos cada ranura con un calibre de aire calibrado, no solo con un perfilómetro. Resultado: tasas de fuga de helio por debajo de 1×10⁻⁹ mbar·L/s en cada cámara que enviamos.
Comenzamos con aluminio 6061-T6 para la mayoría de las cámaras porque equilibra la conductividad térmica (167 W/m·K) y la maquinabilidad. Para plasma basado en flúor, cambiamos a acero inoxidable 316L o Inconel 625: esas aleaciones resisten el ataque de halógenos que disuelve el aluminio estándar. Después del fresado, aplicamos anodizado duro (Tipo III) a 50–60 HRC, o niquelado químico a 48–52 HRC en acero inoxidable. El temple T6 se verifica mediante pruebas de conductividad en cada palanquilla entrante.
No dependemos de verificaciones por muestreo. Cada pieza de cámara recibe una inspección completa por CMM con una sonda de resolución de 0.001 mm: de 40 a 120 puntos medidos según la geometría. Las ranuras de sellado se miden con el mismo calibre de aire utilizado en el ensamblaje final. El acabado superficial se verifica con un perfilómetro láser, no con un medidor de rayado manual. Todos los datos se almacenan en un informe PDF con su número de orden de compra, enviado antes de que la pieza se despache.
Las paredes de la cámara tienen puertos angulados, orificios de entrada de gas y canales de enfriamiento que una máquina de 3 ejes no puede alcanzar sin múltiples configuraciones. Cada configuración añade riesgo de concentricidad. Nuestras máquinas DMG MORI de 5 ejes cortan esas características en una sola sujeción, manteniendo la tolerancia posicional a ±0.01 mm en toda la pieza. Para su dibujo, si un ángulo de puerto es de 30° o 45°, lo mecanizamos en una sola pasada, sin operación secundaria de EDM o perforación.
El plazo estándar es de 5 a 7 días para un prototipo individual de cámara, y 15 días para un lote de 50. No imponemos una cantidad mínima de pedido: ordene una pieza para calificación y luego escale a 500. Esto es fabricación de precisión hecha en China con un giro: mantenemos nuestras propias líneas de mecanizado, por lo que controlamos el cronograma. Sin intermediarios, sin esperar un turno libre en un subcontratista.
Los interiores de cámara que enfrentan plasma necesitan Ra 0.4 µm para reducir la liberación de partículas: logramos esto con una fresa de carburo de 4 filos a un compromiso radial de 0.01 mm, seguido de una pasada de diamante de 2 µm. Para canales de enfriamiento donde la rugosidad ayuda a la transferencia de calor, dejamos Ra 1.6 µm. La tabla a continuación muestra nuestras opciones estándar; indíquenos su especificación y la alcanzamos sin costo adicional, a menos que la geometría exija herramientas personalizadas.
| Parámetro | Rango Estándar | Notas |
|---|---|---|
| Materiales | Al 6061-T6, SS 316L, Inconel 625 | Certificados con trazabilidad de fábrica |
| Tamaño máximo de pieza | 800 mm × 600 mm × 400 mm | Mayor bajo solicitud |
| Dureza (Al después de anodizado) | 50–60 HRC | Anodizado Tipo III, espesor de 25–50 µm |
| Dureza (SS después de niquelado) | 48–52 HRC | Níquel químico, 20–30 µm |
| Tolerancia (mecanizado) | ±0.005 mm | En superficies de sellado críticas |
| Tolerancia (general) | ±0.02 mm | ISO 2768-fino |
| Acabado superficial | Ra 0.4 µm a Ra 1.6 µm | Medido por perfilómetro láser |
| Concentricidad (características concéntricas) | 0.005 mm TIR | Verificado en CMM |
| Plazo de entrega (prototipo) | 5 días | Desde la aprobación del dibujo |
| Plazo de entrega (lote de 50) | 15 días | Sin MOQ: ordene 1 o 500 |
Su cámara puede usar una brida CF, ISO-K o un diseño de abrazadera patentado. Mecanizamos todas esas desde palanquilla cruda, sin soldadura ni brasado. La cara de la brida se lapea a una planitud de 0.002 mm, y los orificios de perno se perforan a una posición verdadera de ±0.05 mm. Si su dibujo especifica un puerto que no está en nuestra biblioteca estándar de herramientas, lo programamos directamente. Nuestro software CAM maneja interpolación helicoidal para roscas, por lo que no necesita insertos separados.
Sin MOQ: mecanizamos una sola pieza de prototipo de cámara para calificación, y luego escalamos a cualquier volumen que necesite.
Sí, nuestras máquinas de 5 ejes cortan cualquier ángulo de 0° a 90° con precisión posicional de ±0.01 mm, y perforamos canales de enfriamiento de hasta 300 mm de profundidad con un diámetro mínimo de 3 mm.
Cada pieza recibe una inspección completa por CMM con resolución de 0.001 mm, las ranuras de sellado se miden con calibre de aire y el acabado superficial se mide con láser: todos los datos se envían en un informe PDF.
Enviamos un lote de 20 en 10 días desde la aprobación del dibujo, y confirmamos el cronograma por correo electrónico dentro de las 12 horas de recibir su solicitud de cotización.
La mayoría de las fábricas en Dongguan subcontratan el trabajo de cámaras a un segundo taller. Nosotros no. Nuestras propias 20 máquinas CNC funcionan 24/7, y nuestro equipo de control de calidad está en el mismo piso que los operadores. Es por eso que podemos garantizar 0.005 mm de concentricidad: el operador lleva la pieza a la CMM, no a través de la ciudad. También es por eso que logramos prototipos en 5 días: sin cola en un proveedor externo. Esto es fabricación de precisión hecha en China, pero con el control de una operación de un solo sitio.
Para evitar errores comunes, lea nuestra guía de selección de herramientas de corte CNC: explica cómo la geometría de la herramienta afecta el acabado superficial de su cámara. Para especificaciones más estrictas, consulte nuestra guía de tolerancias de mecanizado CNC para ver qué es alcanzable en producción, no solo en una pieza de demostración. Y si está evaluando costos de energía, nuestras notas de fabricación de precisión sostenible muestran cómo reducimos el consumo de energía por pieza en un 18%.
Envíe su dibujo para estas Piezas de Cámara de Semiconductores Mecanizadas por CNC y obtenga un presupuesto firme dentro de 12 horas. Correo electrónico sc@bquq.com o WhatsApp +86 13713157787. Respondemos con precio, plazo de entrega y una revisión de DFM: gratis, sin compromiso.
| Parámetro | Capacidad |
|---|---|
| Materiales | AL6061/7075, SUS303/304/316, acero 45#, cobre T2, latón H59, POM, PEEK, nylon |
| Tolerancia | ±0.005mm estándar, ±0.003mm bajo solicitud |
| Máquinas | CNC de 3/4/5 ejes, torneado-fresado, torno suizo |
| Superficie | Anodizado, niquelado, zincado, pasivado, chorro de arena, pulido |
| Rango de Tamaño | Máx. 400 x 300 x 200 mm |
| Prototipo | 72 horas, sin MOQ en muestras |
| Inspección | Informe completo por lote, datos CMM bajo solicitud |
